⒈ 沉积、沉淀并积聚。
英illuviate;
1、给出了不同衬底温度下淀积薄膜中硼深度分布的一些特征。
2、揭示了常规热丝法薄膜淀积工艺中热钨丝易断裂的原因。
3、提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法。
